【摘 要】
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对光栅尺测量系统中各种干扰因素进行了研究,提出了基于互补集合经验模态分解(CEEMD)主成分分析(PCA)的测量误差补偿方法,以提高光栅尺测量精度。对光测量误差进行CEEMD分解获取一系列固有模态分量(IMF),各分量进行PCA并计算主成分个数所对应IMF分量的贡献率,选取合适的IMF分量作为测量误差趋势以提高测量精度。从实验结果上看,所提出误差补偿方法的均方根误差为0.518 μm,置信区间为(
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对光栅尺测量系统中各种干扰因素进行了研究,提出了基于互补集合经验模态分解(CEEMD)主成分分析(PCA)的测量误差补偿方法,以提高光栅尺测量精度。对光测量误差进行CEEMD分解获取一系列固有模态分量(IMF),各分量进行PCA并计算主成分个数所对应IMF分量的贡献率,选取合适的IMF分量作为测量误差趋势以提高测量精度。从实验结果上看,所提出误差补偿方法的均方根误差为0.518 μm,置信区间为(-0.099,0.010 6),验证了这种方法的有效性和可行性。
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