【摘 要】
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介绍了24～38GHz低噪声放大器MMIC的研制。分析了微波晶体管放大器的噪声特性，针对噪声系数和增益，利用软件进行电路仿真优化和电磁场分析，设计制作电路版图，在标准3 in GaAs工艺线
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介绍了24～38GHz低噪声放大器MMIC的研制。分析了微波晶体管放大器的噪声特性，针对噪声系数和增益，利用软件进行电路仿真优化和电磁场分析，设计制作电路版图，在标准3 in GaAs工艺线进行工艺制作。采用电子束制作0．20μm“T”形栅，利用选择腐蚀的方法准确控制有源器件的Idss和Vp，微波测试结果为在频带内的噪声系数小于3．8dB，小信号增益大于13dB，增益平坦度小于±0．6dB，输入和输出驻波比小于2：1．微波性能与NORTHROP GRUMMAN公司的同类产品ALH140C的水平相
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