论文部分内容阅读
PZT铁电薄膜器件在微电子领域有着广泛的应用,可用于制备微机械系统(MEMS)、DRAM、红外探测器等,而薄膜的微图形化刻蚀技术是制备工艺中重要的环节.该文主要介绍了PZT铁电薄膜刻蚀技术的研究进展和应用,并对各种刻蚀法进行分析和对比.
PZT铁电薄膜刻蚀的研究进展
【摘 要】
：
PZT铁电薄膜器件在微电子领域有着广泛的应用,可用于制备微机械系统(MEMS)、DRAM、红外探测器等,而薄膜的微图形化刻蚀技术是制备工艺中重要的环节.该文主要介绍了PZT铁电薄
【机 构】
：
西安交通大学
【出 处】
：
压电与声光
【发表日期】
：
2003年5期
其他文献
报道了用直接法生长新型压电材料La3Ga5SiO14晶体的研究结果.采用化学计量比La3Ga5SiO14多晶料,铂丝引出晶种,中频感应加热生长晶体.对晶体生长的温场及其相应的拉速和转速进
介绍了臭氧的特性及其在饮用水处理方面的突出优点,提出了臭氧在野战净水挂车上的应用。
介绍了图书馆统计工作的内涵和图书馆的统计分类,论述了图书馆进行统计分析的意义,指出科学有效的分类统计是发挥图书馆效益的可靠保证。
朋友的简历做得十分漂亮，精美字体点缀其间，错落有致，美观大方，但一旦拷贝到自己的电脑上，原本精美的文档立即变得“相貌平平”，甚至是无法显示，这是为什么呢？答案是字体在“作怪”。
我的光电鼠标常常会莫名奇妙地出现这样的问题：明明并没有移动鼠标，但是指针却在屏幕中缓缓地“爬”，开始我和很多朋友一样，以为是鼠标硬件的问题，但更换了几款鼠标，问题仍然存在。
期刊
在桌面处理器市场．传说中的“扣肉”还迟迟未见身影．但AMD的AM2处理器早已全面上市。众所周知．由于AM2处理器的性能并没有较大改进．因此AM2处理器上市没多久即用低价来冲击处理器
当演讲的内容比较多日寸，我们会在PPT文档中添加备注以便提示自己，如果不希望播放PPT文件时被观众看到备注内容，可以利用双头输出显卡及PowerPoint的多屏幕播放功能来隐藏。
期刊
在记事本中，我们可以记录关闭某个文本文件的时间。在该文件的第一行输入“．LOG”，然后酗亏开始输入正文。这样每次修改该文件后关闭时，系统都会自动在文本后面添加当前时间。
笔者使用的是Foxmail 6．0 Bela2邮件客户端，经常收到大量的HTML邮件，非常害怕这些邮件里隐藏恶意脚本。采用文本方式阅读HTML邮件是个不错的解决方法。在Foxmail主窗口中右击邮
针对图书馆读者借阅信息复杂度过大的难点，采用遗传算法研究关联规则挖掘，并举例说明。