【摘 要】
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台阶高度作为纳米计量领域中的一个具有代表性的参数,其评定方法层出不穷,本文对现有的台阶高度评定方法进行了介绍,并对其重复性以及一致性进行了分析.结果表明:点对点法和
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京 100029
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台阶高度作为纳米计量领域中的一个具有代表性的参数,其评定方法层出不穷,本文对现有的台阶高度评定方法进行了介绍,并对其重复性以及一致性进行了分析.结果表明:点对点法和直方图算法受噪声等畸变影响较大,重复性较差;而对直方图算法进行改进,台阶高度由计算直方图中分别对应台阶高、低区域的峰值的横坐标之差转而计算重心的横坐标之差,重复性提高;ISO法、最小二乘多项式拟合法和光学显微解耦合准则重复性较好,计算结果更稳定.通过计算归一化偏差En值来判别6个评价方法的一致性,结果表明其测量结果等效一致.
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