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用理论公式与蒙特卡罗方法分别计算了动态流量校准系统和超高/极高真空校准系统中小孔流导的修正系数，比较了2种方法的计算结果。用蒙特卡罗方法计算了小孔系统的传输几率。蒙特卡罗方法计算结果的标准偏差在4．5×10^-7到1．1×10^-5之间。
小孔流导的理论计算与蒙特卡罗计算
【摘 要】
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用理论公式与蒙特卡罗方法分别计算了动态流量校准系统和超高/极高真空校准系统中小孔流导的修正系数，比较了2种方法的计算结果。用蒙特卡罗方法计算了小孔系统的传输几率。蒙
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2009年4期
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