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半导体集成电路工艺模拟软件ＳＵＰＲＥＭ是一个非常有用的ＣＡＤ工具。本论文主要讨论了如何正确、有效的运用这人上工具解决工艺问题。本文概括介绍了ＳＵＰＲＥＭ的能力，重点讨论了在工艺实践中如何处理工艺顺序与模拟顺序的差异，本文还介绍了工艺模拟中的一些技巧。
在工艺实践中运用SUPREM工具
【摘 要】
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半导体集成电路工艺模拟软件ＳＵＰＲＥＭ是一个非常有用的ＣＡＤ工具。本论文主要讨论了如何正确、有效的运用这人上工具解决工艺问题。本文概括介绍了ＳＵＰＲＥＭ的能力，重点讨论了在工艺实践中如何处理工
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
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1995年4期
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