【摘 要】
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<正> 福建某厂为适应半导体器件生产和工业电视发展的需要,最近试制并生产了CSD-55大视场初缩制版镜头和DSW-28A微光电视镜头。同时正在试制半导体器件生产急需的JF-1:1e谱线
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<正> 福建某厂为适应半导体器件生产和工业电视发展的需要,最近试制并生产了CSD-55大视场初缩制版镜头和DSW-28A微光电视镜头。同时正在试制半导体器件生产急需的JF-1:1e谱线投影复印机。现将有关规格分别介绍如下:1.CSD-55大视场初缩制版镜头用于大规模集成电路初缩制版。经有关单位实拍鉴定可以满足φ2200mm大规模集成电路初缩制版的需要,整个视场实拍分辨率在10微米以内。主要指标:焦距f＇=58mm;相对孔径D/f＇=1:4(对φ1600最佳孔径为1:4,对φ2200,最佳孔径为1:4.5)
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