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研究分析了４０００系列ＣＭＯＳ器件电离辐射感生漏电流的产生机制、变化特性及其与加固水平的关系，探讨了辐射感生静态功耗电流，其中特别是场氧化层漏电流的加固抑制方法。
4000系列CMOS器件的电离辐射感生漏电流
【摘 要】
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研究分析了４０００系列ＣＭＯＳ器件电离辐射感生漏电流的产生机制、变化特性及其与加固水平的关系，探讨了辐射感生静态功耗电流，其中特别是场氧化层漏电流的加固抑制方法。
【机 构】
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中国科学院新疆物理研究所
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1997年1期
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