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4000系列CMOS器件的电离辐射感生漏电流
4000系列CMOS器件的电离辐射感生漏电流
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:babyjl1219
【摘 要】
:
研究分析了4000系列CMOS器件电离辐射感生漏电流的产生机制、变化特性及其与加固水平的关系,探讨了辐射感生静态功耗电流,其中特别是场氧化层漏电流的加固抑制方法。
【作 者】
:
余学锋
任迪远
【机 构】
:
中国科学院新疆物理研究所
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
CMOS器件
电离辐射
漏电流
半导体集成电路
series CMOS devies
Ionizing radiation
Leakage current
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研究分析了4000系列CMOS器件电离辐射感生漏电流的产生机制、变化特性及其与加固水平的关系,探讨了辐射感生静态功耗电流,其中特别是场氧化层漏电流的加固抑制方法。
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