关于Cu-Au合金溅射机制的研究

来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nikecb

【摘要】

：

本文报导了用热中子活化分析法测量在不同剂量Ar~+离子轰击下Cu-Au合金的溅射产额 This paper reports the measurement of the sputtering yield of Cu-Au alloy bombarde

【作者】

：

王震遐朱福英陈文彪曹德新周祖尧张衡山张阿虎

【机构】

：

中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海冶金研究所,上海半导体器件研究所,上海半导体器件研究所

【出处】

：

核技术

【发表日期】

：

1985年06期

【关键词】

：

溅射择优溅射 Cu-Au 热中子活化合金卢瑟福背散射中子活化分析法产额离子轰击剂量

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本文报导了用热中子活化分析法测量在不同剂量Ar~+离子轰击下Cu-Au合金的溅射产额 This paper reports the measurement of the sputtering yield of Cu-Au alloy bombarded by Ar ~ + ion bombardment with thermal neutron activation analysis

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