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<正>2016年1月27日,中国电子专用设备工业协会、中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子报社共同评选出"第十届(2015年度)中国半导体创新产品和技术"53个项目,其中半导体设备和仪器13项。
“第十届(2015年度)中国半导体创新产品和技术”项目评选结果
【摘 要】
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<正>2016年1月27日,中国电子专用设备工业协会、中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子报社共同评选出"第十届(2015年度)中国半导体创新产品和技术"53个项目,
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2016年Z1期
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