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分析了在-196～660℃范围内温度及其变化速度对PBN坩埚和Al的机械性能的影响,进而分析了Al坩埚的热应力分布及变化。确定了Al坩埚的维持温度,指明了常用的升温和降温速度对Al坩埚破裂的影响并不明显。
MBE Al源炉升温和降温工艺探讨
【摘 要】
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分析了在-196～660℃范围内温度及其变化速度对PBN坩埚和Al的机械性能的影响,进而分析了Al坩埚的热应力分布及变化。确定了Al坩埚的维持温度,指明了常用的升温和降温速度对Al坩
【机 构】
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机电部第13所石家庄050051
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1991年6期
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