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MBE Al源炉升温和降温工艺探讨
MBE Al源炉升温和降温工艺探讨
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:deathadam
【摘 要】
:
分析了在-196~660℃范围内温度及其变化速度对PBN坩埚和Al的机械性能的影响,进而分析了Al坩埚的热应力分布及变化。确定了Al坩埚的维持温度,指明了常用的升温和降温速度对Al坩
【作 者】
:
武一宾
张文俊
【机 构】
:
机电部第13所石家庄050051
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1991年6期
【关键词】
:
分子束外延
坩埚
热应力
升温
降温
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分析了在-196~660℃范围内温度及其变化速度对PBN坩埚和Al的机械性能的影响,进而分析了Al坩埚的热应力分布及变化。确定了Al坩埚的维持温度,指明了常用的升温和降温速度对Al坩埚破裂的影响并不明显。
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