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本文论述了用于等离子体喷射金刚石膜设备的循环水冷却系统的特点和基本原理，给出了系统的有关参数和使用结果。
用于等离子体喷射金钢石膜设备的循环水冷却系统
【摘 要】
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本文论述了用于等离子体喷射金刚石膜设备的循环水冷却系统的特点和基本原理，给出了系统的有关参数和使用结果。
【机 构】
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河北省科学院激光研究所,河北省机电一体化中试基地
【出 处】
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河北省科学院学报
【发表日期】
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1999年1期
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