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KLA—Tencor公司宣布推出了Teron600系列光罩缺陷检测系统。全新的Teron600平台中加入了可编程扫描机曝光功能，并且灵敏度和模拟光刻计算功能上与当前行业标准平台TeraScanTMXR相比，有明显改进，为2Xnm逻辑（3XnmHP内存）节点下的光罩设计带来了一次重大转型。这些优势对开发和制造2Xnm节点的创新光罩是非常必要的。