【摘 要】
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为了精确、快速测量静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器在受到外界压力后频率的变化,设计了一种基于锁相环的闭环频率跟踪电路。通过对输入信号进行放大、滤波和移相以
【机 构】
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合肥工业大学电子科学与应用物理学院
【基金项目】
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装备预研教育部联合基金项目(JD2018XAZC0009);安徽省重点研发计划项目(1804a09020018)
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为了精确、快速测量静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器在受到外界压力后频率的变化,设计了一种基于锁相环的闭环频率跟踪电路。通过对输入信号进行放大、滤波和移相以满足闭环自激振荡条件,然后利用锁相环电路进行信号的无相差频率跟踪,最后将锁相环输出信号转换为满足传感器激励要求的正弦信号。该电路具有良好的频率稳定(频率误差<1 Hz)和跟踪性能,实现了在18~30 kHz范围内频率无相差锁定。
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