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多层复合薄膜材料在许多领域都有着广泛的应用。由CoFe／TiZr多层复合薄膜构成的极化超镜在中子极化器、极化分析器以及极化中子导管等中子散射实验装置部件上均有重要的应用。CoFe／TiZr合金膜是极化中子散射技术中重要的超镜（Supernlirror）涂层材料，其表面与界面的微观结构状况直接影响到超镜的极化效率和中子传输能力，影响到中子束的品质。研究CoFe／TiZr膜层结构和退火处理间的关系对提高其产品性能是很必要的。