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通过建立等线损切割模型,推算出等线损计算方法,同时研究了不同切割工艺参数对等线损工艺的影响。结果表明:钢线速度越快,回线率越高。切割厚度越大,硅片数越少,回线率越高;同时,等线损工艺能够保证整个加工过程中钢线的磨损量保持基本一致,对于工业化生产具有很好的指导借鉴作用。
多线切割单晶硅等线损模型及其工艺研究
【摘 要】
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通过建立等线损切割模型,推算出等线损计算方法,同时研究了不同切割工艺参数对等线损工艺的影响。结果表明:钢线速度越快,回线率越高。切割厚度越大,硅片数越少,回线率越高;
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2020年6期
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