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本文在总结分析现有光栅精度理论与实践成果基础上,对影响光栅测量系统精度的因素进行了全面系统的分析,并进一步对各项误差源所引起的误差机理和建模作了介绍与论证,并首次提出光栅系统的4类15项误差。
提高光栅测量系统精度的新方法
【摘 要】
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本文在总结分析现有光栅精度理论与实践成果基础上,对影响光栅测量系统精度的因素进行了全面系统的分析,并进一步对各项误差源所引起的误差机理和建模作了介绍与论证,并首次提出光栅系统的4类15项误差。
【机 构】
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合肥工业大学,合肥工业大学
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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1993年05期
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