【摘 要】
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By introducing multi-leaf sectorial holes into an oxidation confined 850nm vertical cavity surface emitting laser (VCSEL), the far-field divergence angle is red
【机 构】
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Key Laboratory of Opto-electronics Technology(Ministry of Education), Beijing University of Technolo
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By introducing multi-leaf sectorial holes into an oxidation confined 850nm vertical cavity surface emitting laser (VCSEL), the far-field divergence angle is reduced.The finite-difference time-domain method is used to simulate the far-field patte of the multi-leaf holey VCSEL with different etching depths and different shapes of the oxide aperture in diameter R.Based on the simulation result, we design and fabricate a multi-leaf holey VCSEL and its divergence angle is only 60.The experimental results agree well with the theoretical predication.
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