Ta2O5/MnO2复合湿敏薄膜制备工艺研究

来源 :哈尔滨理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tc_b074220
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采用钽片阳极氧化和硝酸锰热分解方法,制备Ta2O5/MnO2复合薄膜,研究了电解液种类、浓度(质量分数)、电压对Ta2O5/MnO2复合薄膜绝缘性能的影响.
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