【摘 要】
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本文提出利用金属氧化物半导体材料制备光波导气敏元件，检测挥发性有机物蒸汽的新方法。通过溶胶凝胶法制备了In2O3粉末并用X-衍射对样品进行表征。采用提拉法在锡掺杂玻璃光
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（20965008）
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本文提出利用金属氧化物半导体材料制备光波导气敏元件，检测挥发性有机物蒸汽的新方法。通过溶胶凝胶法制备了In2O3粉末并用X-衍射对样品进行表征。采用提拉法在锡掺杂玻璃光波导表面制备In2O3薄膜，研制了In2O3薄膜／锡掺杂玻璃光波导传感元件，并对挥发性有机蒸汽进行检测。实验结果表明该元件对二甲苯具有较好的气敏性，在常温下该敏感元件对于浓度为1×10^6（体积分数）的二甲苯蒸汽有比较明显响应。
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