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为满足现代基础材料硅片加工的要求,针对多线切割机走线系统的特点,提出一种全自动机线张力控制方法。应用该方法对切割线进行恒张力控制,并对全自动机线张力控制系统进行了仿真。仿真结果表明:该方法能够满足大直径、超薄硅片的加工要求。
多线切割机线张力控制技术研究
【摘 要】
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为满足现代基础材料硅片加工的要求,针对多线切割机走线系统的特点,提出一种全自动机线张力控制方法。应用该方法对切割线进行恒张力控制,并对全自动机线张力控制系统进行了
【机 构】
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北京信息科技大学机电工程学院
【出 处】
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机床与液压
【发表日期】
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2012年10期
【基金项目】
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北京市教育委员会科技发展计划项目(KM2011232004)
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