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本文在中国计量科学研究院研究的差拍法－珀干涉仪基础上，分析了其测量范围过小的本质原因，提出扩大差拍法－珀干涉仪测量范围的方法－换精锁定法，将激光频率依次锁定于法－珀腔的各个干涉级次，从而突破了激光器调谐范围的限制拓深了该系统实现大范围纳米测量的能力。
用于大范围纳米测量的法布里—珀罗干涉仪
【摘 要】
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本文在中国计量科学研究院研究的差拍法－珀干涉仪基础上，分析了其测量范围过小的本质原因，提出扩大差拍法－珀干涉仪测量范围的方法－换精锁定法，将激光频率依次锁定于法－珀腔的各个干
【机 构】
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清华大学精仪系,中国计量科学研究院
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金,国家教委科学基金
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