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报道了利用新型紫外光源—Ｅｘｃｉｍｅｒ紫外灯辐照制备钽氧化物薄膜的新方法，并对所制备的薄膜进行了Ｘ光光电子能谱（ＸＰＳ）分析，分析结果表明：所制备的钽氧化物薄膜不含碳而且符合化学计量比，有望获得好的介电性能
Excimer紫外灯辐照法钽氧化物膜XPS分析
【摘 要】
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报道了利用新型紫外光源—Ｅｘｃｉｍｅｒ紫外灯辐照制备钽氧化物薄膜的新方法，并对所制备的薄膜进行了Ｘ光光电子能谱（ＸＰＳ）分析，分析结果表明：所制备的钽氧化物薄膜不含碳而且符合化学计量比，有望获得
【机 构】
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临沂师专化学系,临沂粮食学校,苍山县第一中学,苍山县实验中学
【出 处】
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临沂师专学报
【发表日期】
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1998年3期
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