Research of micro-EDM and its applications

来源 :Journal of Harbin Institute of Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：sean1221

【摘要】

：

A Micro Electrical Discharge Machining (MEDM) equipment was developed in this paper,on which the CNC interpolation for 3-axis linkage movement could be realized

【作者】

：

张勇王振龙胡富强贾宝贤赵万生

【机构】

：

Dept.ofMechanicalEngineering

【出处】

：

Journal of Harbin Institute of Technology

【发表日期】

：

2007年6期

【关键词】

：

微电子流量加工机床硅加工微电极 3D结构 micro electro discharge machining silicon machining mic

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A Micro Electrical Discharge Machining (MEDM) equipment was developed in this paper,on which the CNC interpolation for 3-axis linkage movement could be realized easily. By this micro-EDM equipment,the fabrication process of microelectrode,micro hole,silic

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