【摘 要】
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为了制备高纯度的非晶纳米粉体 ,在传统的激光诱导化学气相沉积法反应装置的基础上 ,引入“双光束激励”的新方法 ,利用正交紫外光束激励分解 ,从而提高气相中N/Si比 ,减少产
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所,中国科学院安徽光学精密机械研究所,中国科学院安徽光学精密机械研究所 安徽合肥230031,安徽合肥230031,安徽合肥230031
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为了制备高纯度的非晶纳米粉体 ,在传统的激光诱导化学气相沉积法反应装置的基础上 ,引入“双光束激励”的新方法 ,利用正交紫外光束激励分解 ,从而提高气相中N/Si比 ,减少产物中游离硅的浓度。研究了粒子的红外吸收光谱特性 ,并指出表面效应和量子尺寸效应导致粉体红外吸收光谱的蓝移和宽化现象 ,同时红外吸收光谱中的这些反常现象也验证了粉体的纳米特性。
In order to prepare high-purity amorphous nano-powders, a new method of “dual-beam excitation” is introduced based on the traditional laser-induced chemical vapor deposition reaction device. Orthogonal UV beam is used to stimulate the decomposition to improve the N / Si ratio, reducing the concentration of free silicon in the product. The infrared absorption spectra of the particles were studied. The surface effect and the quantum size effect were also observed. The infrared absorption spectra of the powders were blue shifted and broadened. The anomalies in the infrared absorption spectra also verified the nanostructures of the powders.
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