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为将模糊的集成电路版图进行复原,探讨了Lucy-Richardson滤波、维纳滤波、拉格朗日乘法算子最小二乘方滤波方法.研究发现：噪声模糊图像进行复原时,Lucy-Richardson方法基本恢复不出集成电路版图,维纳滤波的去噪声明显但是图像清晰度不够,拉格朗日乘法算子最小二乘方滤波复原版图清晰;恢复清晰集成电路的版图可以用于集成电路的结构分析和集成电路失效机理诊断.