【摘 要】
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控制石墨烯成核密度和石墨烯层数一直是生长单晶石墨烯的重要问题。本文采用一种改进的化学气相沉积法,在中压状态下(5.5Torr),以自制石墨模具(狭缝)为生长石墨烯的反应容器,
【基金项目】
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湖南省自然科学基金(2018JJ2513);湖南省战略性新兴产业科技攻关项目(2016GK4020)~~
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控制石墨烯成核密度和石墨烯层数一直是生长单晶石墨烯的重要问题。本文采用一种改进的化学气相沉积法,在中压状态下(5.5Torr),以自制石墨模具(狭缝)为生长石墨烯的反应容器,制备出了成核密度低的单层石墨烯。利用扫描电镜和拉曼光谱仪对石墨烯的形貌和结构进行了表征,并研究了在1253K时以甲烷为碳源,不同沉积时间对石墨烯形貌的影响。结果表明,在VCH4∶VH2=1∶15、沉积时间为20min条件下获得单层石墨烯。随着沉积时间的延长,获得的石墨烯尺寸变大,但层数增多。
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