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本文以氮化钛的 CVD制备为例 ,说明了源物质的选择对 CVD过程的影响。在此基础上 ,综述了化学气相沉积技术在材料制备领域的最新进展。
化学气相沉积法制备氮化钛
【摘 要】
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本文以氮化钛的 CVD制备为例 ,说明了源物质的选择对 CVD过程的影响。在此基础上 ,综述了化学气相沉积技术在材料制备领域的最新进展。
【机 构】
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中国科学技术大学化学系
【出 处】
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化学进展
【发表日期】
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2003年05期
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