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期刊论文
硅微热致动泵的关键加工工艺
硅微热致动泵的关键加工工艺
来源 :机械工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:naocan528
【摘 要】
:
提出了一种新型结构的硅微热致动泵,对该泵相关的微机械关加工工艺进行了综述分析和试验研究.
【作 者】
:
崔天宏
周兆英
王晓浩
叶雄英
杨岳
张文栋
吕苗
【机 构】
:
精华大学精密仪器与机械学系,电子部第十三研究所
【出 处】
:
机械工程学报
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
微型机械
微型泵
硅微加工工艺
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提出了一种新型结构的硅微热致动泵,对该泵相关的微机械关加工工艺进行了综述分析和试验研究.
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