【摘 要】
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测量了玻璃、熔融石英及蓝宝石衬底上VO2薄膜变温过程的红外透过率谱,对样品相变前后的光学性质进行了研究.特定温度下VO2薄膜发生相变,其光学性质随之发生突变.不同衬底、不
【机 构】
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中科院物理研究所光物理实验室,中科院物理研究所表面物理实验室,中科院物理研究所表面物理实验室
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测量了玻璃、熔融石英及蓝宝石衬底上VO2薄膜变温过程的红外透过率谱,对样品相变前后的光学性质进行了研究.特定温度下VO2薄膜发生相变,其光学性质随之发生突变.不同衬底、不同制作工艺影响相变发生的温度以及相变前后光学性质的变化量.蓝宝石衬底上磁控溅射所得的VO2膜5 μm处透过率的减小量ΔT为70%,相对变化ΔT/TRT为94%,玻璃衬底上磁控溅射所得的VO2膜2.5 μm处ΔT=64.2%,而ΔT/TRT高达98%,接近于1.
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