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以珀金埃尔默公司(PE)生产的NexION300D为例,基于环境监测系统使用经验,总结了包括进样系统、等离子体源(ICP)、接口、透镜、四级杆分析器、检测器和内置于质谱仪中的真空系统,外连接冷却循环水及空气过滤网等部件日常维护要点,并对容易出现的点火问题、灵敏度低、氧化物高、精密度差、质量数8和220的背景值高、校准曲线异常等故障原因进行分析,并提出解决办法。认为未来电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)与其它仪器联用技术的相关维护是ICP-MS从业者的挑战和机遇。