【摘 要】
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对单端口静电激励/电容检测谐振器在交流电压激励和带直流偏置的交流电压激励两种情况下输出电流的谐波成分进行了数值仿真分析。建立了包含几何非线性和静电非线性的谐振器
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
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对单端口静电激励/电容检测谐振器在交流电压激励和带直流偏置的交流电压激励两种情况下输出电流的谐波成分进行了数值仿真分析。建立了包含几何非线性和静电非线性的谐振器动力学方程,将动力学分析的方法与数值求解以及对数值解进行FFT处理的方法相结合,分别得到了两种激励下输出电流的幅频特性。谐波分析结果表明,交流电压激励更适用于基于频域分离法的单端口静电激励/电容检测方式,并且为激励电压幅度的选择、谐振器几何参数设计以及后续电路设计提供了依据。
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