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提出了新的硅片磨削方法——硅片旋转磨削法。对新方法与已有方法进行了试验对比。试验表明,硅片旋转磨削方法具有一些明显优点。
硅片旋转磨消法试验研究
【摘 要】
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提出了新的硅片磨削方法——硅片旋转磨削法。对新方法与已有方法进行了试验对比。试验表明,硅片旋转磨削方法具有一些明显优点。
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1989年4期
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