【摘 要】
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研究了一种基于FeCoSiB/SiO 2多层膜的磁声表面波(MSAW)传感器,其中FeCoSiB/SiO 2 多层膜制备在石英声表面波(SAW)谐振器上。在外加磁场发生变化时,FeCoSiB/SiO 2 多层膜通过
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,电子信息控制重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(61871081),电子信息控制重点实验室基金资助项目.
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研究了一种基于FeCoSiB/SiO 2多层膜的磁声表面波(MSAW)传感器,其中FeCoSiB/SiO 2 多层膜制备在石英声表面波(SAW)谐振器上。在外加磁场发生变化时,FeCoSiB/SiO 2 多层膜通过巨杨氏模量效应影响压电衬底表层的相速度,进而改变SAW的谐振频率。通过设计和优化磁致伸缩多薄膜的结构和软磁性能,不仅获得磁致伸缩层总厚度与谐振器品质因数的关系,而且成功使磁敏传感器的灵敏度(Δ f/H ,即施加单位磁场时的谐振频率的变化量)提升了2个数量级,达到419 Hz/μT。在此基础下,探
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