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大约单层薄的非晶态氮化硅的组织,是在nc-（Al（1-x）Tix）N/a-Si3N4超硬纳米复合涂层沉积过程中形成的,具有良好的结构与硬度。在温度低于1100℃时,能有效地避免fcc-（Al（1-x）Tix）亚稳溶液的分解和软化,形成富钛fcc（Ti（1-δ）Alδ）N纤锌矿型h-（A l N）。如果没有氮化硅涂层,（Al（1-x）Tix）N的软化和分解将会发生在800-900℃之间。