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本文介绍了一种口径为直径16cm的宽束离子源的设计，该源采用了多极场型放电室，结构紧凑合理，便于清洁维修以及更换离子引同系统，使用二栅引出系统时，可获得50－1500eV的离子束，距源10cm处，500eV的氩离子束的束流密度可达0．95mA/cm2，且±8％均匀性的均匀区域达直径14cm。．
直径16cm宽束离子源的设计
【摘 要】
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本文介绍了一种口径为直径16cm的宽束离子源的设计，该源采用了多极场型放电室，结构紧凑合理，便于清洁维修以及更换离子引同系统，使用二栅引出系统时，可获得50－1500eV的离子束，距源10
【机 构】
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华东工业大学仪器仪表学院
【出 处】
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华东工业大学学报
【发表日期】
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1995年2期
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