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详细介绍了应变Si技术产生的起因及特性、应变Si器件的优势、应变Si器件应用中存在的问题并对应变Si技术的市场应用前景作了简单的介绍.
提升亚微米Si CMOS器件性能的新技术——应变Si技术
【摘 要】
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详细介绍了应变Si技术产生的起因及特性、应变Si器件的优势、应变Si器件应用中存在的问题并对应变Si技术的市场应用前景作了简单的介绍.
【机 构】
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河南信阳师范学院物理电子工程学院,清华大学微电子学研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2005年1期
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