【摘 要】
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场发射扫描电子显微镜(FESEM)可以有效地显示材料表面和断面信息,是材料显微结构分析的主要手段之一。FESEM有上下两个二次电子探测器,二次电子上探测器的分辨率较高、信噪比
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院,中国科学院上海硅酸盐研究所,
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场发射扫描电子显微镜(FESEM)可以有效地显示材料表面和断面信息,是材料显微结构分析的主要手段之一。FESEM有上下两个二次电子探测器,二次电子上探测器的分辨率较高、信噪比好;二次电子下探测器采集角度小,图像立体感较强,且可以减少荷电现象。此外,较二次电子下探测器而言,二次电子上探测器可以接受更多背散射信号,因此,上探测器采集的图像中成分信息量更大。由于上下两个二次电子探测器的性能有所差异,在实际工作中需要根据不同的测试要求,灵活地选择二次电子探测器,以获得较好的扫描电镜图像。
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