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探讨了臭氧应用于硅清洗废水的处理中,单独臭氧氧化及协同氧化预处理硅清洗废水的试验方法,对不同清洗废水的处理效果。结果表明,臭氧对硅清洗废水的COD_（Cr）降低有良好的效果。单独臭氧氧化时,COD_（Cr）的去除率达54.69%;臭氧与H_2O_2协同氧化时,COD_（Cr）的去除率达72.3%。