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光刻机工件台的小型重力补偿器是光刻技术中关于硅片调焦调平的关键技术，其性能直接影响机器焦深误差。针对一种主动小型重力补偿器展开研究，给出了机械结构、驱动电机和隔振性能的设计，通过实验表明了设计符合需求。
一种小型重力补偿器的研究
【摘 要】
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光刻机工件台的小型重力补偿器是光刻技术中关于硅片调焦调平的关键技术，其性能直接影响机器焦深误差。针对一种主动小型重力补偿器展开研究，给出了机械结构、驱动电机和隔振性
【机 构】
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上海微高精密机械工程有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2012年6期
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