【摘 要】
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研究了一种全新的纳米尺度位移测量系统。将双折射元件插入He-Ne激光器谐振腔内产生频率分裂效应,使原本单模谐振的激光器输出变成了频差可调的2个正交偏振频率(o光和e光),而
【机 构】
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清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室
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研究了一种全新的纳米尺度位移测量系统。将双折射元件插入He-Ne激光器谐振腔内产生频率分裂效应,使原本单模谐振的激光器输出变成了频差可调的2个正交偏振频率(o光和e光),而形成双频激光器。在激光谐振腔外放置沿激光轴线位移的反射表面,将输出的激光束反射回腔内,以便对激光的光强进行调制,可实现高分辨率非接触式可判向位移测量。提出了一种细分方法,该方法突破了传统干涉系统的衍射极限(1/2波长)。对于633 nm波长He-Ne激光,本系统的理想分辨率为1/8波长(约为79 nm)。
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