【摘 要】
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轮廓曝光技术可大幅提高跨尺度结构电子束直写的加工效率,但对于复杂图案,前期人工绘制曝光版图的过程费时费力。为了进一步提高版图生成效率,本文提出一种利用边界追踪算法
【机 构】
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湖南大学机械与运载工程学院,湖南大学物理与微电子科学学院
【基金项目】
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国家自然科学基金优秀青年基金资助项目(No.51722503)
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轮廓曝光技术可大幅提高跨尺度结构电子束直写的加工效率,但对于复杂图案,前期人工绘制曝光版图的过程费时费力。为了进一步提高版图生成效率,本文提出一种利用边界追踪算法提取数字图像轮廓并将它转换为曝光版图的方法。首先,通过图像灰度化以及Otsu自适应阈值分割法将图像转换为二值图像。接着,使用MATLAB bwboundaries边界追踪函数追踪二值图像边界。最后,利用GDS工具箱将图像边界转换为曝光版图。实验结果表明,本工作提出的方法可以有效地提取树叶、数字及动物等复杂图案边缘并将它们转换为版图进行后续曝光。通
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