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<正> 目前,化学气相沉积(CVD)涂层除用于切削工具以外,还用作许多功能性涂层,例如耐磨和耐腐蚀涂层、金刚石膜、有色超硬镀层,核聚变炉内壁保护膜、透明陶瓷膜、非晶膜、超导膜等。CVD设备一般由气体导入系统、反应
化学气相沉积涂层新技术和应用
【摘 要】
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<正> 目前,化学气相沉积(CVD)涂层除用于切削工具以外,还用作许多功能性涂层,例如耐磨和耐腐蚀涂层、金刚石膜、有色超硬镀层,核聚变炉内壁保护膜、透明陶瓷膜、非晶膜、超导
【机 构】
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北京粉末冶金研究所
【出 处】
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稀有金属材料与工程
【发表日期】
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1988年06期
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