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一种用于BGA(Ball GridArray)共面性检测的激光扫描在线测试系统，对扫描中的动态误差进行了实时修正，提出了以三点法为基础的共面性评价方法，并进行了相应的实验研究，取得了满意的结果。
用于BGA共面性检测的激光扫描在线测试系统
【摘 要】
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一种用于BGA(Ball GridArray)共面性检测的激光扫描在线测试系统，对扫描中的动态误差进行了实时修正，提出了以三点法为基础的共面性评价方法，并进行了相应的实验研究，取得了满意
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2001年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 !(6990 60 0 1
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