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多晶硅薄膜的等离子氢化新工艺
多晶硅薄膜的等离子氢化新工艺
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ganyi
【摘 要】
:
根据多晶硅薄膜氢化的微观机理,提出改进氢化效果的工艺方法。在不增加设备投资的情况下,采用该方法能够明显提高多晶硅薄膜的氢化效果,从而提高薄膜晶体管的性能,ION/IOFF从10^3量级增加到10^5量
【作 者】
:
曾祥斌
徐重阳
【机 构】
:
华中理工大学电子科学与技术系
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2000年6期
【关键词】
:
多晶硅薄膜
氢化工艺
薄膜晶体管
等离子氢化
Poly-silicon film
Hydroge nation
Plasma hydrogenation
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根据多晶硅薄膜氢化的微观机理,提出改进氢化效果的工艺方法。在不增加设备投资的情况下,采用该方法能够明显提高多晶硅薄膜的氢化效果,从而提高薄膜晶体管的性能,ION/IOFF从10^3量级增加到10^5量级,氢化工艺的处理时间也相应缩短。
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