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在理论分析的基础上，设计制作了５００Ｖ／１１ＡＶＤＭＯＳＦＥＴ芯片，并且进行了失效分析，从而进一步解决了设计和工艺中存在的问题，提高了成品率．最后指出了今后努力的方向．
500 V/11 A VDMOSFET 的研究
【摘 要】
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在理论分析的基础上，设计制作了５００Ｖ／１１ＡＶＤＭＯＳＦＥＴ芯片，并且进行了失效分析，从而进一步解决了设计和工艺中存在的问题，提高了成品率．最后指出了今后努力的方向．
【机 构】
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西安交通大学,国营卫光电工厂,香港科技大学
【出 处】
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西安交通大学学报
【发表日期】
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1998年05期
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