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通过对DX0231型BSIT栅源低击穿问题的分析,讨论了设计、材料、环境、设备等因素对表面栅BSIT栅源击穿的影响,指出了提高栅源击穿的努力方向.
表面栅BSIT的栅源低击穿问题研究
【摘 要】
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通过对DX0231型BSIT栅源低击穿问题的分析,讨论了设计、材料、环境、设备等因素对表面栅BSIT栅源击穿的影响,指出了提高栅源击穿的努力方向.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第13研究所,西安电子科技大学
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2003年10期
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