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铝膜材料的回弹变形会影响槽型质量和光栅的工作效率,本文提出总刻深不变的机械重复刻划工艺组合方案。借助有限元软件提取4组相同位置的槽型轮廓图,分别对其闪耀面相同的位置提取40个采样点,并对材料的回弹变形进行量化分析。分析表明:机械重复刻划较单次刻划能显著改善材料的回弹稳定性;在工艺组合方案中,综合回弹变形的稳定性和变形量以一次大刻深、二次小刻深的试验方案最优。