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近来,GlobalFoundries宣布将会推进7 nm FinFET工艺,引发了行业对工艺节点、光刻等技术的探讨。这是是来自SemiEngineering年的一篇报道,带领大家了解7 nm工艺及以后的半导体业界的发展方向。
浅析7nm之后的工艺制程的实现
【摘 要】
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近来,GlobalFoundries宣布将会推进7 nm FinFET工艺,引发了行业对工艺节点、光刻等技术的探讨。这是是来自SemiEngineering年的一篇报道,带领大家了解7 nm工艺及以后的半导体
【机 构】
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EETimes半导体工程制造
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2017年1期
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