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本工作以Ｃ３Ｈ６＋ＳｉＨ４混合的气体及ＳｉＨ４＋ＮＨ３混合气体为反应物，用激光等离子体化学气相反应法合成了纳米级的ＳｉＣ和Ｓｉ３Ｎ４陶瓷粉末材料，用红外谱、Ｘ射线衍射、透射电子显微镜等多种技术对粉末的化学键性质、粒度及形、晶态等特性进行了分析，讨论了实验参量对粉末性能的影响。
激光等离子体化学反应合成SiC,Si3N4
【摘 要】
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本工作以Ｃ３Ｈ６＋ＳｉＨ４混合的气体及ＳｉＨ４＋ＮＨ３混合气体为反应物，用激光等离子体化学气相反应法合成了纳米级的ＳｉＣ和Ｓｉ３Ｎ４陶瓷粉末材料，用红外谱、Ｘ射线衍射、透射电子显微镜等多种技术对粉末的化学键性质、粒度
【机 构】
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河北大学物理系,中国科学院物理研究所
【出 处】
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河北大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1995年1期
【基金项目】
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河北省教委资助
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